主な特長

■溶融石英ガラス(Ｎ、ＯＰ、ＨＲグレード)
　●結晶性シリカ粉を酸水素炎または電気炉で溶融して得られます。
　●耐水性に優れ、半導体製造用治具類に使用されています。
　●ＯＰ-１、３は細やかな泡を内包させた不透明石英ガラスで遮光・遮熱性に優れます。

■超高純度溶融石英ガラス(Ｓグレード)
　●高純度原料を酸水素あるいは電気溶融して得た超高純度溶融石英ガラスです。
　●泡が少なく、合成石英ガラスと同等の紫外線透過性を有しています。

■合成石英ガラス(ＥＳ、ＥＤグレード)
　●合成原料を加水分解して得るため不純物をほとんど含みません。
　●製造法に直接法とＶＡＤ法があり、ガラスに含まれるＯＨ基量が異なります。
　●ＥＳはレーザー耐性に優れ、ＥＤは耐熱性、光透過性に優れています。

石英ガラスの特性・純度についての詳細はこちら（エクセルデータ：toso.xls）